计划概述
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)情形中,用石墨加热器将多晶硅等多晶质料熔化,用直拉法生长无错位单晶的装备
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计划特色
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视觉定位
视觉定位,举行检测误差,赔偿给控制系统
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高重合精度
高精度,高响应定位,控制伺服驱动
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高像素相机
视觉实时丈量晶棒生长尺寸
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高速处置惩罚数据
高速PLC 承载着整个系统的运算及执行
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